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标题:高温炉的使用操作规程介绍
正文:
高温炉的使用操作规程有以下几点值得注意：　　首先要做好准备工作 ： 　　a,检查电源线接触是否良好 　　b,检查连接线是否正常 　　c,检查冷却水是否正常 　　d,检查密封性是否正常 　　e, 准备所需工具：无尘纸、无水酒精、帆布手套、作业手套、口罩、耐高温手套、石墨推车、不锈钢托盘 　　其次就是开炉 　　a,打开主电源开关 　　b, 向炉体充氩气至大气压，打开炉体前门，取下石墨盖板 　　c, 将输送车开关打至 OUT，依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK - DOWN 按钮，取出 。石墨坩埚，依次放置于石墨推车上输送车开关. 　　d, 清炉 清理炉膛内壁、石墨件及保温材料上的污物 　 接下来就是装料 　　a,将石墨坩埚放置于输送车平台上，使用限位杆确定其位置，依次装入硅料。 　　b、拔出限位杆，输送车开关打至 IN，依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN，将坩埚装入炉膛内，并确定输送车会到初始位置。 　　c、装入石墨盖板，拧紧石墨螺栓，关紧炉门 　　再然后就是抽气 　　a、检查炉门是否关紧，真空系统是否密封 　　b、置 DP 按钮于 DP ON，打开干式真空泵，打开真空计开关 P1G1，打开干式真空泵 。阀门，开始抽气测试泄漏率， 　　c、当压力表指示为 50Pa是关闭真空泵阀门（非真空泵）露铝≤1Pa/min，打开氩气阀门充氩气（20L/min）。 　　d. 加热 先打开水环泵 再按 RUN，开始工艺加热。 　　最后步骤：冷却 　　a、加热结束后，按工艺条件进行冷却；文章整理：杭州蓝天仪器有限公司 文章来源：http://www.81636730.com/bolg
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